一、玻璃基板清洗
选用的玻璃基板通常采用 直径为2、3寸的圆形玻璃板，材质通常为普通玻璃和石英玻璃2类，前者厚度为0.5mm，后者厚度为0.8mm，以便于区分
1.准备大、中、小3个培养皿、2个量瓶、1个玻璃棒，在最大的那个里面配制食人鱼水；中的里面放去离子体水，小的里面放乙醇
2.带好橡胶手套和一次性口罩，将培养皿、量瓶、玻璃棒用通风橱处的水冲洗一遍，然后用去离子水清洗，最后拿氮气吹干
3.将玻璃基板从包装中拆除，用镊子放入培养皿（错落放置、避免用手直接拿取）
4.拿取浓硫酸和过氧化氢，在通风橱按比例约为2：1进行配制
5.先由量瓶量取适量的浓硫酸，倒入装有玻璃片的培养皿，然后由另一个量瓶量取浓硫酸量的一半的过氧化氢，倒入装有玻璃片的培养皿，与浓硫酸发生反应，拉下通风橱遮挡窗，用玻璃棒搅拌（务必在通风橱配制、务必先倒浓硫酸后配制过氧化氢、通常50ml的浓硫酸25ml的过氧化氢）
6.浸泡10分钟
7.在中号培养皿中放入去离子水（大约为容量的一半）
8.用镊子夹取清洗液中的玻璃片，在通风橱处冲洗，角度约为60度，小水流冲洗，尽量将玻璃片放低夹紧，避免溅到通风台上；待清洗至表面无清洗液残留时，方可放入去离子水中（常用两个镊子进行操作、注意玻璃片与水流的清洗角度、注意镊子夹取处的清洗）
9.依次清洗结束后，将装有玻璃片的中号培养皿放入超声波清洗机中，清洗机内的水约为培养皿高度的1/3，避免清洗水进入培养皿
10.打开清洗机开关，调节功率为90（最右侧），时间为4min（靠功率左侧）
11.清洗结束后，往小号培养皿中放入乙醇，容量能让玻璃片浸入即可
12.将装有玻璃片的乙醇培养皿放入超声波清洗机中，同9、10步骤
13.在清洗期间，将废液倒入废液瓶中，并清洗使用过的培养皿，待冲洗掉残液后用氮气吹干；废液瓶开口放置在通风橱内，待实验完毕后再封口存好；
14.清洗结束后，将培养皿取出，用镊子夹取玻璃片，用氮气吹干（尽量不要将出气口直接对着玻璃片正面，应顺着正面的方向吹）待吹干到少量液滴残留时，可用手卡住玻璃片直接吹干，最后放入存放盒；
15.依次吹干后，将玻璃片装好，将培养皿中的乙醇、去离子水直接倒入水槽中，用清水冲洗掉残留液，清洗量瓶、清洗玻璃棒、再用氮气吹干
16.将实验用品全部放入原位，清洗完的玻璃片装好带走，将废液瓶封口，存放。
17.将一次性口罩、橡胶手套、无尘纸等产生的垃圾带走或扔进垃圾箱内
二、喷涂PI膜
三、贴掩膜
选取基板
1.喷涂在玻璃基板上PI膜
2.正面用记号笔标记PI膜工艺参数——转速、厚度
3.玻璃板背面为PI膜
贴防护膜
1.事先画好二维图，以dxf格式存放
2.裁减合适的大小，并将其贴在打印纸上，用硬物压紧粘牢
3.按下打印机后面的扳手，将滚轮抬起，放入打印纸，抬起扳手
4.开机，打开操作界面，导入文件
5.排版，设定切割参数，注意切割力度6~7即可
6.开始切割
7.将切好的防护膜贴到玻璃基板两侧，在写有标签的一侧贴一层膜，在PI膜那一侧贴上刚刚切割的膜
8.将制备好的试件放入培养皿中并标注。
四、磁致溅射
西净化间磁控溅射操作步骤