Zemax仿真中像质评价及方法

无论是在仿真还是实际应用中,一个成像系统质量的好坏,都需要一定的指标和方法进行评估。影响像质量的主要因素包括两个方面:像差 和 衍射

设计阶段评价成像质量方法:

        几何光学法:几何像差法、波像差、点列图、几何光学传递函数

        物理光学法:点扩散函数、相对中心强度、物理光学传递函数

所以,在使用Zemax对光学系统进行仿真和优化后,需要选取某个方面对光学系统进行质量评估,来满足项目设计的要求。

球差\delta L' 子午球差\triangle L'_{T}

色差\triangle l'_{FC},\triangle L'_{FC}

子午慧差K'_{T}
像散x'_{ts} 弧矢球差\triangle L'_{S}
场曲 弧矢慧差K'_{S}
慧差 细光束子午场曲x'_{t}
畸变\delta y'_{z} 细光束弧矢场曲x'_{s}
垂轴色差 波像差


Fans 光扇图
Spot Diagram 几何点列图
MTF 调制传递函数
PSF 点扩散函数
Wavefront 波像差
Miscellaneous 其他或杂项
  • Fans:由任一物点发出的不同孔径高的光线组分别在子午面内和弧矢面内,形成子午扇形光线与弧矢扇形光线组,由这些扇形光线组描述跟像差有关的像质指标。(包括:Ray Aberration、Optical path 和 Pupil Aberration三种。)

光线像差图

 表述了不同高度的扇形图,系统成像质量的情况。

:PX、PY是某条光线在瞳上的归一化坐标;ex、ey是该光线在理想像面上对理想成像点的偏移量。)

  • Spot Diagram:反映任一物点发出充满入瞳的光锥,在像面上的交点弥散情况;通常以主光线与像面交点为原点,进行量化计算点列图的弥散情况。(Zemax在此基础上还给出以虚拟的“质心”、“平均”为原点的量化点列图。)其表现形式有五种,常用为标准点列图(standard)。【使用点列图的优点是直观,易观察,但是其缺点是,需要大量光线追迹。】

  • MTF:既与光学系统的像差有关,又与光学系统的衍射效果有关,是光学传递函数(OTF)的模,曲线横轴表示像面上的空间频率,单位为1/mm,即每毫米多少对线,纵轴表示对这些黑白细实线物分辨的调制度,越高说明分辨率越强。

物理含义:应用傅立叶变换原理与光学系统相干成像理论,计算出镜头对逐渐变细的黑白线对分辨的调制度。

 【MTF中,曲线形成的面积越大,成像质量越好,分辨率越高。】

根据计算方式的不同,分为三种情况:

        1.FFT MTF:基于快速傅立叶变换,先计算PSF(点扩散函数),再由PSF→MTF;

        2.Huygens MTF:基于惠更斯波面包络原理,先计算出瞳面上的光瞳函数,然后把出瞳面细分,看成次级光源,再向像面传递;因此计算惠更斯传函时,要将出瞳面细分网格、也将像面细分网格采样;

        3.Geometric MTF,基于几何点列图,转化成子午面或弧矢面上的线扩散函数,再经傅立叶变换,得到调制传递函数。

  • PSF:反映点物经过镜头系统后,因像差或衍射在像面上造成的扩散情况,横轴为像面上的线性尺度,纵轴为归一化能量(强度)分布;PSF的计算模型也有FFT和Huygens两种。PSF一般使用在精细成像质量或小像差系统场合。

  • Wavefront:可用于小像差光学系统和大像差光学系统,同时因有瑞利标准(波像差小于N/4波长,镜头系统成像质量接近理想),使波像差评价像质易被量化,只是对大像差系统时,可将波像差容限取成2~4倍的瑞利标准。波像差跟视场有关,由一个视场物点发出充满入瞳面的光线,相当于一个球面波入射,经过镜头系统后,出射波面因像差的存在发生变形,表示存在波像差。

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