版权声明:double12754 https://blog.csdn.net/double12754/article/details/88422333
关键在于计算出传播时间
坐标系以工件为主,底面方向为X,Y坐标;纵轴方向为Z坐标;
1.虚拟源位置的确定;
虚拟源的位置确定依据VSA算法,以晶片位置为圆心作圆,以最近的切点为超声波入射工件的入射点。虽然与实际入射点位置有却别,但各个入射点之间的位置绝对值不变。
例:假设斜探头角度为15°
0号晶片x,z为(0,0),1号晶片x,z为(1,tan15°)
2.入射角度变化;
3.合成孔径聚焦;
- 在楔块中的传播时间计算公式:
自发自收:T0
=Z0
/(C楔块声速
/2)*2
包括发射和接收超声波在楔块内传播的时间
其中Z0
为发射晶片Z坐标,C为超声波在楔块中的声速
一发一收:T0=Z0
/C+Z1
/C
其中Z1为接收晶片的Z坐标
- 在工件内的传播时间计算公式:
自发自收:T1
=√【(Δx)²+(Δy)²+(Δz)²】*2
其中Δx,Δy,Δz,分别为虚拟源(入射点)与缺陷的x,y,z,差值。
一发一收:T1=√【(Δx)²+(Δy)²+(Δz)²】+√【(Δx1)²+(Δy1)²+(Δz1)²】
其中Δx1,Δy1,Δz1,分别为接受点与缺陷的x,y,z,差值。