第一部分
目前已有MEMS传感器：
1. MEMS加速度计：即是用来测量物体加速度的仪器，MEMS加速度计即为微型加速度计，同传统加速度计相比，其具有体积更小、质量更小的特点。根据测量原理，可分压阻式微加速度计、电容式微加速度计、压电式微加速度计。
1） 压阻式微加速度计：压阻效应:在一块半导体的某一轴向施加一定的应力时,其电阻率产生变化的现象。
2）电容式微加速度计：由于电容的变化与两极板之间距离的变化有关,因此距离的变化可以通过电容的变化来测量,由电容变化得到位移变化,再进行微分运算便可完成加速度的测量。
3）压电式微加速度计：压电效应:一些电介质在受到外界的作用而发生形变时,在电介质的内部会发生极化,与此同时,在该电解质的表面会由于极化现象的产生而出现正负相反的电荷,当外力去掉后,它又会恢复到不带电的状态,而当作用在电介质表面的力的方向发生了改变,则极化出的电荷的极性也会发生改变,这种现象称为压电效应。
2. 微压力传感器
利用其体积小的特点，测量到传统压力传感器难以测量到的部位的压力。
3. MEMS陀螺
角速度一般用陀螺仪进行测量的。传统的陀螺仪精度很高，但结构复杂，成本高，使用寿命短，难以在一般的运动控制系统中运用。
4. 微气体传感器
微气体传感器分为硅微气体传感器和硅微气体传感器。
其中，以硅为衬底，敏感层为非硅材料，属于当前微气体传感器的主流。许多气敏传感器的敏感性和工作温度密切相关，需要同时加热元件和温度探测元件，以检测和控制温度。
谐振式气敏传感器不需要对元件进行加热，且输出信号为频率量，是硅微气敏传感器发展的重要方向之一。
第二部分
MEMS全称Micro Electromechanical System，微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。主要由传感器、动作器（执行器）和微能源三大部分组成。
微机电系统在国民经济和军事系统方面将有着广泛的应用前景。主要民用领域是电子、医学、工业、汽车和航空航天系统。
MEMS工作原理：
全球MEMS生产厂商：全球前十名 MEMS厂商主要包括博世、意法半导体、惠普、德州仪器、佳能、InvenSense、 Avago和 Qorvo、楼氏电子、松下等等。其中 BOSCH因为其在汽车电子和消费电子的双重布局，牢牢占据着行业的第一的位置，其营收约占五大公司合计营收的三分之一。