微光机电系统（MOEMS）是近几年在微机电系统（MEMS）中发展起来的一支极具活力的新技术系统，它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统。
微光机电系统是一种可控的微光学系统，该系统中的微光学元件在微电子和微机械装置的作用下能够对光束进行汇聚、衍射和反射等控制，从而可最终实现光开关、衰减、扫描和成像等功能。该系统把微光学元件、微电子和微机械装置有机地集成在一起，能够充分发挥三者的综合性能。
研究背景：
目前我国在该方面有很多高校在研究，其中光通信，光电成像，高精尖测量等都需要该领域的技术，在建设智能制造2025的阶段中起着关键作用。例如芯片加工制造过程中用到的精密设备都需要用到精密光机电测控系统，在很多高精尖测量方面也需要使用到光学测量。制造工业母机需要的关键技术之一是精密测量。
在芯片领域，我国主要面临的一个关键问题之一是芯片加工，这里面涉及到芯片的精密测量，微纳加工，半导体技术等都是国内的短板。我们的短平快的技术目前发展的很好，但是这种高端制造和先进工艺却是国内的短板。这些技术的发展需要更多的人员花费时间和精力的，去赶超其他国家的工艺水平。
注意事项：
1 实验过程中视线不要和激光在一个水平面(注意人身安全)
2 保护光学器件
3 穿洁净服，防止带入颗粒物