1.拿镊子取硅片，硅片一面为镜面，一面为毛面，重点清洗镜面；
2.备好清洗架，家用洗洁精；
3.用镊子夹取硅片，先用通风橱处的自来水冲洗，以除去附着在表面的较大杂质；
4.戴好手套，将清洗后的硅片镜面朝上铺放在左手，滴一滴洗洁精，用右手食指轻搓镜面一侧，泡沫越多说明清洗为干净；——洗洁精除去表面油性杂质
5.用自来水冲洗掉泡沫，并放入清洗架；
6.在杯中盛入自来水，将放有硅片的清洗架置入杯中，在杯口戴上手套封口，放入超声清洗机
7.调节参数为60w，5min，开启清洗；
8.超声清洗后用去离子水冲洗，直到看不到泡沫为止；在杯中放入去离子水，封口，超声清洗，参数同上
9.将去离子水倒掉，用乙醇代替，步骤同上
10.将乙醇倒去，用丙酮代替，步骤同上——
11.在通风橱配置食人鱼水，即浓硫酸和过氧化氢以7：3的比列进行配置
去离子水冲洗残液
乙醇
丙酮
用氮气枪吹干
抛光片表面有颗粒和金属杂质
乙醇丙酮，去除有机无机沾污
根据相似相容原理