WPE & LOD(应力效应)

LOCOS:

        鸟嘴,H/W小,不太适合CMP工序

STI:

        H/W大,便于CMP工序

        就是挖沟,填二氧化硅隔离介质{Mos比喻成城池,STI就是护城河}

        sti_mask-->size (diffusion or (diffusion and poly)) by value

Proximity Effect:WPE LOD

WPE:Well proximity effect

STI Effect:LOD {length of diffusion}

        就是STI槽中填充的隔离介质会产生机械应力,挤压比邻的MOS,使电参数发生和应力

        相关联的漂移。STI主要影响器件的饱和电流(Idsat)和阈值电压(Vth)。

        STI延展效应可以通过以下两个参数来描述:SA/SB这两个参数分别表示栅到有源区两边缘

        的距离。Stress=1/(SA+L/2)+1/(SB+L/2)


WPE <wbr>& <wbr>LOD(应力效应).1

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增加SA和SB就是增加缓冲距离减弱应力,S和D端不要直接面临STI并适当增加距离即可缓解LOD效应

如果是增加Dummy的话,则要求共源或漏


可以看到仿真曲线饱和电流I和SA/SB的关系图

以及1:4的MOS的3中Floorplan情况,

其中3.block floorplan对LOD效应比较免疫(参数同比漂移,所以不影响匹配度)

对于其它比例的MOS可以参考上面的floorplan。在面积,布线易度,匹配度之间做好权衡

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转载自blog.csdn.net/zhangzker/article/details/70226583
LOD