ロボットへのMEMS加速度計の適用
技術の発展に伴い、人々の社会にはますますインテリジェントな機械が存在します。ここでは、ロボットの動きについて簡単に紹介します。
ロボットの動きは主に3軸の傾きセンサーの動作状態や姿勢制御に依存しますが、MEMS加速度センサーは小型、軽量、小機能、低コスト、高信頼性から重要な傾き検出デバイスです。デジタル化とインテリジェンスを実現することは簡単で、マイクロロボット用の従来の姿勢測定デバイスジャイロに徐々に取って代わります。
容量性マイクロ加速度計が最も一般的で、成熟した人気のある製品があります。基本原理は、慣性力による慣性質量の微小変位を検出するための検出インターフェースとしてコンデンサを使用することです。マスブロックは弾性マイクロビームで支持されて本体に接続されており、可動マスブロックには一般に静電容量検出用の極板が1つ、固定された本体には極板が1つ配置されています。図2は、典型的なサンドイッチ構造の容量性マイクロ加速度計を示しています。さらに、AD Companyが開発した静電容量式マイクロ加速度計は、検出インターフェースとして櫛歯アレイコンデンサを使用しています。容量性マイクロ加速度計は、高い感度と測定精度、優れた安定性、小さな温度ドリフト、非常に低い消費電力、および強力な過負荷保護機能を備えています。静電力を使用してフィードバック閉ループ制御を実現でき、その感度のためにセンサーのパフォーマンスが大幅に向上しますスポーツロボットの動的および姿勢制御によく使用されます。
パラメータ|モデル単位SiA202 SiA205 SiA210 SiA215 SiA220 SiA230 SiA250
範囲g±2±5±10±15±20±30±50
部分値mg 0.14 0.35 0.7 1.05 1.4 2.1 3.5
部分値安定性mg 0.24 0.6 1.2 1.8 2.4 3.6 6
部分値の再現性μg3 7.5 15 22.5 30 45 75
スケール係数mV / g 1350 540270180135 90 54
スケール係数の安定性ppm 120
ミスアライメント角度mrad 10
しきい値（1 Hz）μgrms 7 17 34 51 68102170
非線形（IEEE）％FS 0.3
動作温度℃ -40〜125
消費電力mW 10
サイズmm2 9×9
これは、高精度mems加速度計チップのパフォーマンスインデックスパラメータです。
