どのような種類のMEMS加速度計がありますか？

どのような種類のMEMS加速度計がありますか？
MEMS加速度計は、集積回路技術とマイクロマシニング技術に基づいており、電子と機械のオリジナルを1つのチップに統合します。加速度計のタイプは主に次のとおりです。

1.角振動加速度計、線形振動加速度計
2、ねじり振り子加速度計、片持ち梁加速度計、ばね支持加速度計
3、容量性加速度計、抵抗加速度計、共振加速度計、熱流加速度計、トンネル電流加速度計
4、開ループ加速度計、閉ループ加速度計
5、単軸マイクロメカニカル加速度計、2軸マイクロメカニカル加速度計i、3軸マイクロメカニカル加速度計、これらの

うち容量性MEMS加速度計の高感度コンポーネント固定電極と可動電極の間のコンデンサは、最も広く研究されているタイプの加速度センサーであり、一般に、片持ち梁、固定梁、または柔軟なシャフト構造を採用して、容量性可動プレート電極として機能する質量をサポートします。ブロックと固定プレートはプレートコンデンサを構成します。
その動作原理は、外部加速度の作用下でプルーフマスの変位により、マスと電極間の静電容量が変化し、この変化を周辺回路で検出することで加速度を測定できるというものです。