コンセプト加速度計MEMS

概念加速度計MEMS  
加速度計は、慣性センサで、オブジェクトの加速力を測定することができます。加速力は、重力上のようなオブジェクトの加速、中力を受けたとき。
加速力は、MGが可変されるように一定にすることができます。MEMS加速度計は、小型、軽量、低消費電力以上となるように持っているので大幅に縮小されたサイズは、等生活、産業、軍事、航空宇宙産業の様々な分野で使用することができる微小電気機械システム技術の結果としてすべての人生の歩みでのアプリケーション。
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青島テンカイMEMS加速度計は、
 作品加速度計どのようにMEMSを? 
  圧電、静電容量センシングタイプ、熱タイプ:3種類に技術加速度計熟MEMS。圧電効果である加速度計、圧電MEMS、質量内部剛性支持体を用いて、質量が剛体株、圧力スポーツケースを生成する、加速度は、電気信号出力に変換します。質量は、単一ユニットの観点から、また、ある式の加速度計MEMS感知内部容積は、それが標準的な平板コンデンサです。バイポーラプレート間隔とアライメント領域の静電容量を変化させること、それによって駆動される可動質量の移動加速度の変化は、加速度の静電容量の変化量を測定することによって計算しました。全く質量を有していない加速度計内部熱式MEMSは、その中心が発熱体で動作するときに作用下で、ガス室に封入されている温度センサによって囲まれた加熱体を有し、ガスが高温ガスの内部に温風を形成しますそしてグループの周囲の冷たい空気の比率は、熱電界の変化は慣性センサ感覚加速度の移動に暖かい空気によって形成される、異なっています。剛性支持体の内部に存在する加速度計、圧電MEMSは、一般的に、圧電MEMS加速度計は、「動的」の加速度を感知することができる、および「静的」加速度に敏感ではないので、我々は重力の加速度と呼んで。スタイルとスタイルのセンスの両方の誘導「ダイナミック」加速するだけでなく、誘導「静的」加速感の熱容量。

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転載: blog.csdn.net/ZITN001/article/details/105234790