8 半导体表面和MIS 结构

 

前面的几种反型状态都是从半导体器件物理的时候学的,不想再看了。

然后CV特性居然也不是我想要的CV

界面固定电荷:

直接到界面:主要是固定表面电荷,就是引起CV变化,还有使用氧离子注入。认为是在SI和SIO2界面的过剩Si离子导致的,采用的方法就是加上负栅偏压和热处理,果然硅离子在栅偏压的作用下移动。

快界面态:

外表面态是空气和氧化物的界面上,他们和半导体交换电荷时候,电子必须穿过绝缘的氧化层,因此需要很长时间的点和交换,这种外面态又称做慢态。但是在硅和二氧化硅的界面,可以迅速和半导体导带和价带交换电荷,所以称为快界面态。施加不同栅压的时候,界面态中电荷随之改变,界面态发生充放电效应。加负栅压的时候,界面半导体能带抬高,靠近价带的表面态移动到费米能级之上,大部分施主态没有被电子占据,呈现正电性,出现正的界面态附加电荷,补偿金属电极上的负电荷的作用,削弱表面层能带的弯曲和空穴堆积。加正栅压的时候,靠近导带的守住态度向下移动到费米能级时候,电子占据受主界面态,表面出现负的界面态附加电荷,效果也是削弱能带弯曲程度和表面层中的负电荷。

研究表明界面态密度在禁带中呈U形连续分布,在禁带中部界面密度较低,在靠近导带底和价带顶界面态密度迅速增加,不再下降。

陷阱电荷:

辐照感应的空间电荷可以通过热退火消去。

 

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