分類概要MEMSセンサ
MEMSセンサ説明：MEMSは、微小電気機械システムのMEMSを表します。
インターフェイス、通信及び電力は、マイクロデバイス又はシステムの一つになるまで、大量生産には、マイクロメカニズム、マイクロセンサ、マイクロアクチュエータ、及び信号処理および制御回路であろう。
チップ上のマイクロメカニカルミクロン技術、及び全体として対応する集積回路技術を用いて、従来の半導体プロセス及び材料を利用することを理解することができます。これは、高度な製造技術プラットフォームに基づいて開発された半導体製造技術をベースにしています。
MEMSセンサーの利点：伝統的な機械的な彼らの小さいサイズと比較すると、最大値がより1センチメートル以上でない、あるいはわずか数ミクロン、厚さが一層分です。シリコン系材料、良好な電気的特性の使用、シリコーン材料の強度、硬度、ヤング率とかなり鉄、アルミニウム及び同様の密度、モリブデン及びタングステンの熱伝導率近いです。同様の手法を生成する集積回路（IC）を使用して、ICの質量、成熟した技術、技術、大容量、低コストの生産で製造することができるので、費用対効果の高い製造技術における従来の「機械的」実質的な増加に対して。
MEMSセンサの分類：
型MEMSセンサの範囲、多くの分類方法
以下のように分類された作品に応じて以下：
