MEMS 개념 가속도계
물체의 가속력을 측정 할 수있는 가속도 센서 관성 센서이다. 가속력이 중력에 같은 물체의 가속 동안 힘을받은 경우.
㎎을 가변 할 수 있으므로 가속력은 같은 상수 일 수있다. 그 이상의도록 소형, 경량 및 저소비 전력을 갖는 가속도계 MEMS 때문에 매우 소형화 등 생활 산업, 군사, 항공, 다양한 분야에서 사용할 수있는 마이크로 전자 기계 시스템 기술의 결과로서 각계 각층에서 응용 프로그램.
칭다오 탱 치 MEMS 가속도계
작업 가속도계 방법 MEMS를?
압전 정전 용량 검출 형 열식 세 종류로 기술 MEMS 가속도계 성숙한. 압전 효과 질량 내부 강성 지지체 압전 MEMS 가속도계를 이용하여, 압력 스포츠 케이스 강체 생산 균주 것이다 질량은 가속 출력 전기 신호로 변환된다. 질량은 단일 유닛의 관점에서, 표준 플레이트 커패시터이며, 또한 내부 체적 감지 MEMS 가속도계는하기 화학식이다. 양극판의 간격과 배향 영역의 용량을 변경함으로써 구동 가동 질량의 이동 가속도의 변화는 가속도의 정전 용량 변화량을 측정함으로써 계산 하였다. 어떤 질량이없는 가속도 센서 내부 열 형 MEMS는, 그 중심이 발열체에서 동작 할 때 작용에 의해, 가스 챔버를 밀봉하는 온도 센서에 의해 둘러싸인 가열 체를 가지고, 상기 가스는 고온 가스 내부의 따뜻한 공기를 형성 및 그룹 주변의 차가운 공기의 비율은 열 필드 변경은 관성 센서의 가속도 감지 이동하도록 따뜻한 공기에 의해 형성되고, 상이하다. 일반적으로 강성 지지체의 내부에 존재 가속도계 압전 MEMS 때문에, 압전 MEMS 가속도계 '동적 "가속 및"정적 "가속도에 민감하지을 느낄 수 있으며, 우리는 중력 가속도를 부르는 . 스타일 및 스타일의 의미를 모두 유도 "동적"가속도뿐만 아니라 유도 "정적"가속도 감지의 열용량.
