용량 가속도계 (A)의 MEMS 유형
모든 사람들의 생활, 과학 기술, 하우징, 생업과 성능면에서 높은 수준에서 점차 소형화에 대한 대형 가속도계 원본과 과학 기술의 발전과 함께 적용 할 수 라인은 크게 효율성과 보안을 향상시킵니다.
MEMS 가속도계는 여섯 가지로 나누어
용량 가속도계
압전 저항 가속도계
압전 가속도계
공진 가속도계
터널링 가속도계
열 대류 가속도계
정전 용량 가속도 센서 구조가 구조의 세 가지 유형으로 구분 될 수있어서,
1 가속도계 로커 매달린
2는, 빗살 형 실리콘 마이크로 머신 가속도계
3은 매달린 용량 가속도계 샌드위치
라고도 용량 매달린 가속도계 협지 전극 판라는 고정 판형 샌드위치 사이에 개재되어 있기 때문에, 실리콘 마이크로 머신 캔틸레버 가속도계는 샌드위치 구조 가속도계 미세 가공된다. 구조에있어서, 상기 가속도 감지 형 입력 차동 용량의 크기의 세트를 형성하기 위해 고정판 대응 도금 중간 가동 판 용량 성 실리콘 물질 수지 시트에 의해 두 개의 수직 평면 이루어지는 비교적 간단하다. 때까지 손으로 상하 운동 질량의 가속도 피치 차동 커패시턴스 변화 크기, 이론적 분석과 함께 용량 변화 가속도 거의 정비례 형성된 크기 차동 커패시턴스 질량의 변위가 작은 것을 알았다.
