DESCRIPTION 가속도계 (MEMS 가속도계)
응용 프로그램 Mesm 가속도계와 어떤 도입 몇 가지 간단한 부문이다
상기 식에서 가속도계 구조 설계의 원칙 MSMS
1, 등방성 원칙 : 모든 충격 작용 방향에 의해 실리콘 미세는, 하나 또는 여러 개의 가장 민감한 방향이, 나머지의 방향이 느리다.
2 설계 원칙 감도 : 라인 설계 가속도의 변화 및 유효 전기량 (용량)에 관한 측정 결과를 반영 할 수있는 실리콘 미소 변위 공간 마이크로 나노 오더의 감도, 동일한 우수한 감도를 갖는다 .
