Sensor de aceleración capacitivo MEMS (Introducción) El
sensor MEMS, es decir, un sistema microelectromecánico, es un campo de investigación multidisciplinario de vanguardia desarrollado sobre la base de la tecnología microelectrónica. En comparación con los sensores tradicionales, tiene un tamaño pequeño, peso ligero, bajo costo, Bajo consumo de energía, alta confiabilidad, adecuado para producción en masa, fácil de integrar y lograr funciones inteligentes. Al mismo tiempo, el tamaño de la característica en el orden de micrómetros permite realizar algunas funciones que los sensores mecánicos tradicionales no pueden. Entre ellos, los sensores de aceleración MEMS ahora se usan ampliamente en varios campos que requieren movimiento.
Debido a que el nivel de desarrollo aeroespacial de un país refleja el nivel general de ciencia y tecnología del país, con el rápido desarrollo de la tecnología aeroespacial, la miniaturización, la multifunción, la movilidad y el alto rendimiento de los sensores también han aumentado, por lo que las personas están Los requisitos en el campo son más exigentes e importantes, por ejemplo, los sensores de inercia aeroespacial tienen altos requisitos en términos de volumen, peso y rendimiento. En este caso, se desarrolló el acelerómetro MEMS, porque la miniaturización, el alto rendimiento, la alta confiabilidad, la precisión y la estabilidad se han aplicado en campos importantes como el aeroespacial y militar.
Entonces, ¿cuál es el principio de funcionamiento del acelerómetro capacitivo MEMS?
El acelerómetro capacitivo MEMS tiene las ventajas de alta precisión, coeficiente de sensibilidad a baja temperatura, bajo consumo de energía, amplio rango dinámico, excelente estructura micromecánica, etc., y se ha convertido en un tema de investigación candente en el hogar y en el extranjero. Debido a que tiene una buena respuesta de CC, buena relación señal / ruido, alta impedancia de carga, poca interferencia de campos magnéticos, autocomprobación fácil, alta sensibilidad, deriva de baja temperatura, etc. Puede responder a la aceleración estática o de CC en respuesta de baja frecuencia porque es ampliamente utilizado.
El principio de funcionamiento básico es utilizar el condensador como interfaz de detección para detectar el microdesplazamiento de la masa inercial debido a la fuerza de inercia. El bloque de masa es soportado por un microhaz elástico y conectado al sustrato. Una placa polar para detectar capacitancia generalmente está dispuesta en un bloque de masa en movimiento. .
