MEMS tipos de acelerómetro capacitivo (a)
Con el desarrollo de la ciencia y la tecnología de la original acelerómetro de gran tamaño gradualmente hacia la miniaturización se pueden aplicar en todos los ámbitos de la vida y un nivel más alto en términos de rendimiento, a la vida de las personas, la ciencia y la tecnología, la vivienda línea de mejora en gran medida la eficiencia y seguridad.
Acelerómetros MEMS dividen en seis categorías
capacitiva acelerómetro
piezorresistivo acelerómetro
piezoeléctrico acelerómetro
resonante acelerómetro
túnel acelerómetro
térmico por convección acelerómetro
En el que la estructura acelerómetro capacitivo se puede dividir en tres tipos de estructuras:
1, el eje de balancín oscilante acelerómetro
2, del tipo peine de silicio micromecanizado acelerómetros
3, Sandwich acelerómetro capacitivo pendular
que intercalar el acelerómetro capacitivo pendular conocido como silicio micromecanizada acelerómetro voladizo está micromecanizado acelerómetro una estructura de sándwich, ya que la placa de electrodo se intercala entre el sándwich de forma de placa fija llamado. La estructura es relativamente simple, el método está hecho de dos plano vertical por una placa capacitiva de silicio sensible balance de masa hoja móvil intermedia plateado con placa fija correspondiente para formar un conjunto de magnitud capacitiva diferencial de la entrada de aceleración sensible. Cuando la aceleración de la masa movimiento hacia arriba y con la mano hacia abajo, el cambio de la capacitancia con el cambio de capacitancia magnitud diferencial lanzamiento, análisis teórico y se encontró que la capacitancia diferencial tamaño formado casi linealmente proporcional a la aceleración es pequeña en el desplazamiento de la masa.
