Clasificación general Mems sensor
MEMS sensores descritos: MEMS es sinónimo de sistemas MEMS micro-electromecánicos.
La producción en masa será el micro-mecanismo, micro-sensores, micro-actuadores, y los circuitos de procesamiento y control de la señal, hasta que la interfaz, la comunicación y el poder es uno de los dispositivos o sistemas de micro.
Se puede apreciar que la utilización de los procesos de semiconductores y materiales convencionales, con una tecnología micras micromecánico en un chip, y la correspondiente tecnología de circuitos integrados como un todo. Se basa en la tecnología de fabricación de semiconductores desarrollado sobre la base de una plataforma de tecnología de fabricación avanzada.
Mems Sensor del ventajas: En comparación con su tamaño mecánico tradicional más pequeño, el máximo es de no más de un centímetro, o incluso sólo unas pocas micras, el espesor es aún más minutos. El uso de materiales a base de silicio, buenas propiedades eléctricas, la fuerza del material de silicona, la dureza y el módulo de Young y bastante hierro, aluminio y densidad similar, conductividad cerca térmica al molibdeno y tungsteno. Uso de circuito integrado (IC) la generación de una técnica similar, el CI puede ser producida en masa en tecnología madura, la tecnología, de alto volumen, la producción de bajo costo, de modo que rentable con respecto al aumento sustancial convencional "mecánica" en la tecnología de fabricación.
MEMS sensores de clasificación:
MEMS de tipo sensor de alcance, muchos métodos de clasificación
a continuación de acuerdo a las obras se clasifican como sigue:
