MEMS типы емкостной акселерометр (б)
С развитием науки и техники из оригинального акселерометра большого размера постепенно в сторону миниатюризации может применяться во всех сферах жизни и более высокий уровень с точки зрения производительности, жизни людей, науки и техники, жилья линия значительно повышает эффективность и безопасность.
MEMS акселерометры разделены на шесть категорий
емкостного акселерометр
Пьезорезистивного акселерометр
пьезоэлектрического акселерометр
резонансного акселерометр
туннельного акселерометр
тепловая конвекция акселерометр
В котором емкостная структуру акселерометра можно разделить на три типа структур:
1, качающиеся маятниковый акселерометр
2, гребенчатые типа кремний микромеханических акселерометров
3, подвесные емкостной акселерометром сэндвича
В чем гребенчатой емкостной акселерометр называют АФН. Поскольку форма гребня зуба подвижного электрода с именем, также известные как гребенчатый емкостным акселерометр. Микрометр, как правило, конфигурация ускорения, акселерометр гребенок, имеющие высокую чувствительность, хорошая стабильность температуры, относительно простую структуру, низкое энергопотребление, хорошие характеристики по постоянному току и другие характеристики, но чувствителен к электромагнитным помехам, этот тип акселерометра относительно большой емкости может быть сформирована посредством множества небольшой площади пластины конденсатора, соединенного параллельно, чтобы улучшить разрешение, но может производить структура обратной связи управления с обратной связью облегчает повышенную точность.
