세븐 분류 MEMS 센서는 무엇입니까?
새로운 센서 마이크로 전자 및 마이크로 머시닝 기술 MEMS 센서의 제조. 그것은 쉽게 통합 지능형 기능을 구현하기 위해 대량 생산에 적합한 소형, 경량, 저비용, 저전력, 고 신뢰성, 고 부가가치를 갖는다.
분류 센서 MEMS 다음의 7 :
1 압력 센서에 절대 압력 센서와 압력 센서의 측정.
2 열 센서 : 온도 센서와 가열한다.
3, 기계적 센서에 힘, 압력, 속도, 가속도 센서.
(4) 화학 센서 : 화학 물질의 농도, 화학 조성 및 반응 속도 센서.
도 5의 자기 센서 : 자기장 세기, 자속 밀도와 강도 센서.
6, 방사선 센서 : 전자기 센서의 세기.
(7) 전기 센서 : 전압, 전류, 전하 센서.
여러 전형적인 MEMS 외에도 센서는 미세 결정을위한 센서 촉각 MEMS 많은 MEMS 센서가 있는데, 상기 생물학적 MEMS 센서, 서로 다른 환경에서의 MEMS 형 이미지 센서는 MEMS 센서 기술은 상이한 가.
