8月11日、「イノベーションと製造装置の統合、チャンスを掴むために協力する」をテーマとした第11回（2023年）中国電子特殊装置産業協会半導体装置年次大会および産業チェーン協力フォーラム（CSEAC）が無錫太湖で開催された。国際博覧センターは無事閉幕しました。3日間のCSEACでは、展示会、フォーラム、新製品を通じて、機器、コアコンポーネント、主要材料の観点から我が国のIC産業の発展成果と、産業チェーンにおける主要なリンクの革新と探索を包括的に紹介します。リリースします。電子ビーム検出および測定の分野のリーダーとして、東方京源氏は主催者から会議に招待され、半導体製造技術と装置材料に関する議長フォーラムと、製造に関する共同開発フォーラムで2つの重要なセッションを開催した。基調講演では、関連する最先端の技術やトレンドについて共有・議論が行われ、参加者の注目も高く、熱狂的な反応が見られました。
半導体製造技術・装置材料フォーラム会長
円卓会議では、東方京源会長のYu Zongqiang博士、中国微小半導体設備（上海）有限公司会長兼最高経営責任者（CEO）のYin Zhiyao博士、Tuojing Technology Co., Ltd会長のLu Guangquan博士が出席しました。 、および国内半導体業界のリーダーの他のリーダーが同じステージで、技術革新と業界の協調的発展において適切な仕事を行う方法について意見交換し、議論します。
企業が業界の周期的な変動にどのように直面しているかについて、Yu Zongqiang 氏は次のように述べました。「半導体業界の周期は非常に強力ですが、現在は地政学が加わり、事態はより複雑になっています。多くの予測不可能な出来事が起こるでしょう。私の結論は、次のとおりです。」 「すべての変化は同じであり、内なる力をよく鍛えなさい。また、今日のことをしっかりと行い、明日のことに備え、明後日のことを意識して、すべての変化に同じように対応してください。」
業界の発展と変革は永遠のテーマであり、円卓会議のリーダーたちはそれぞれの分野が直面する課題と機会について意見を交換しました。「まず、できることもできないこともあります。すべてを行うことは不可能です。東方京源が10年前の創業以来取り組んできたことはただ一つ、歩留まりをいかに向上させるかということです」 「既存の集積回路製造の主流です。私たちもこのメインラインに従っています。今後も」Yu Zongqiang 氏の答えは、なぜ東方京源が電子ビーム試験測定装置と EDA 関連製品の両方を持っているのかという多くの人々の疑問を解決しました。
講演セッションでは、Yu Zongqiang 氏が「ポストムーア時代の課題と人工知能 - チップの機会」の基調講演を通じて、企業の発展を導く HPOTM (全体的プロセス最適化) 収量最大化技術ルートの詳細な分析を行いました。アートからサイエンス、インテリジェンスへのモノづくり」と製品設計のコンセプト、ハードウェアとソフトウェアをつなぐ基盤となるコア技術、そして現在の実践成果。講演を通じて誰もが集積回路の「スマートマニュファクチャリング」時代の到来を感じ、示唆に富んだものとなった。
製造技術と半導体装置産業チェーンの共同開発に関するフォーラム
製造プロセスと半導体装置産業チェーンの共同開発に関するフォーラムで、東方京源イノベーション技術研究院所長の孫偉強博士は「統合電子ビーム検出・測定装置のローカライゼーションへの道」と題して講演した。回路出力モニタリング」での講演。20分間の短い講演の中で、Sun Weiqiang博士は、電子ビーム検出および測定装置の開発動向、技術フロンティア、位置特定研究の3つの重要なポイント、およびDongfang JingyuanのCD-SEMにおける3つの主要な電子ソリューションについて説明しました。 、EBI、DR-SEMなどの電子ビーム検出および測定分野における技術革新が共有され、中国の電子ビーム検出および測定分野のリーダーとしての東方京源の技術力と先進的なレイアウトが実証されています。
電子線検出測定装置（電子線欠陥検査装置、主要寸法測定装置などを含む） 歩留まり監視に欠かせない手段ですが、長らく市場は海外メーカーに独占されてきました。このような機器の位置特定におけるギャップを解決するために、Dongfang Jingyuan は、高解像度大視野スキャン イメージング、3 次元高精度位置補正、インテリジェントな欠陥検出と分類などの技術的困難を、ほぼすべての技術を駆使して突破してきました。 10年間にわたる独自の研究開発により、化学電子線検査装置は集積回路生産ラインに適用され、中国の不足を埋め、中国の集積回路分野における検出技術の発展を促進する上で重要な役割を果たしました。私の国。
半導体装置は、半導体産業全体をサポートする上で重要な役割を果たしており、半導体産業チェーンの中で最も広範な市場空間と最も重要な戦略的価値とのつながりとなっています。今後、Dongfang Jingyuan は電子ビーム検出および測定の分野で発展を続け、その優れた利点を拡大し、より多くの業界関連の問題を解決していきます。同時に、設計と製造のリンクをオープンにすることで、集積回路の製造歩留り管理に新たなソリューションを提供し、産業の発展促進に貢献します。