Para conocer el historial de desarrollo de las guías de ondas de silicio, proporcione referencias.

Para conocer la historia del desarrollo de las guías de ondas de silicio, consulte los siguientes documentos: 1. LF Chen et al., "A Review of Silicon Photonics", IEEE Communications Magazine, vol. 54, n.º 2, páginas 106-113, 2016 2. RG Hunsperger, Óptica integrada: teoría y tecnología, 3ª ed., Springer-Verlag, Berlín, 2002. 3. SA Maier, Plasmonics: fundamentos y aplicaciones, Spr